Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.
NORMA vydána dne 1.2.2007
Označení normy: DIN EN 62047-2:2007-02
Datum vydání normy: 1.2.2007
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.