Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials.
NORMA vydána dne 1.4.2014
Označení normy: DIN EN 62047-18:2014-04
Datum vydání normy: 1.4.2014
Počet stran: 15
Přibližná hmotnost: 45 g (0.10 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe.