DIN EN 62047-17:2015-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films.

NORMA vydána dne 1.12.2015

Německy -
PDF - okamžité stažení (2665.90 CZK)

Německy -

Tištěné (3318.10 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-17:2015-12
Datum vydání normy: 1.12.2015
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-17:2015-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.