DIN EN 62047-14:2012-10

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.

NORMA vydána dne 1.10.2012

Německy -
PDF - okamžité stažení (2324.00 CZK)

Německy -

Tištěné (2890.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-14:2012-10
Datum vydání normy: 1.10.2012
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-14:2012-10 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.