DIN EN 62047-11:2014-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems.

NORMA vydána dne 1.4.2014

Německy -
PDF - okamžité stažení (2564.30 CZK)

Německy -

Tištěné (3282.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-11:2014-04
Datum vydání normy: 1.4.2014
Počet stran: 21
Přibližná hmotnost: 63 g (0.14 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-11:2014-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.