NORMSERVIS s.r.o.

DIN EN 62047-10:2012-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials.

NORMA vydána dne 1.3.2012

Německy -
PDF - okamžité stažení (2019.20 CZK)
Německy -
Tištěné (2510.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN EN 62047-10:2012-03
Datum vydání normy: 1.3.2012
Počet stran: 13
Přibližná hmotnost: 39 g (0.09 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN EN 62047-10:2012-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.