Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydána dne 1.12.2016
Označení normy: DIN EN 62047-1:2016-12
Datum vydání normy: 1.12.2016
Počet stran: 37
Přibližná hmotnost: 111 g (0.24 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.