Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydána dne 1.10.2006
Označení normy: DIN EN 62047-1:2006-10
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.10.2006
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen.