VDE 0113-33. Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment.
NORMA vydána dne 1.11.2011
Označení normy: DIN EN 60204-33:2011-11
Datum vydání normy: 1.11.2011
Počet stran: 133
Přibližná hmotnost: 430 g (0.95 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
VDE 0113-33. Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstungen von Maschinen - Teil 33: Anforderungen an Fertigungseinrichtungen für Halbleiter.