DIN 50450-9:2003-04

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography.

NORMA vydána dne 1.4.2003

Německy -
PDF - okamžité stažení (799.30 CZK)

Německy -

Tištěné (970.10 CZK)

Německy -

CD-ROM (836.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN 50450-9:2003-04
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.4.2003
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN 50450-9:2003-04 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie.