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DIN 50450-3:1991-03

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H2, O2, N2, Ar and He by using a flame ionization detector (FID).

NORMA vydána dne 1.3.1991

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: DIN 50450-3:1991-03
: 1.3.1991
: 2
: 6 g (0.01 )
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Kategorie: Technické normy DIN

DIN 50450-3:1991-03 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID).