DIN 32566:2007-12

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.

NORMA vydána dne 1.12.2007

Německy -
PDF - okamžité stažení (1307.40 CZK)

Německy -

Tištěné (1577.60 CZK)

Německy -

CD-ROM (1344.50 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: DIN 32566:2007-12
Datum vydání normy: 1.12.2007
Počet stran: 9
Přibližná hmotnost: 27 g (0.06 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN

Anotace textu normy DIN 32566:2007-12 :

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.