DIN 50451-6:2014-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4; F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid.

NORMA vydána dne 1.11.2014

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Designation standards: DIN 50451-6:2014-11
Publication date standards: 1.11.2014
The number of pages: 14
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Country: German technical standard
Kategorie: Technické normy DIN

Annotation of standard text DIN 50451-6:2014-11 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4; F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure.