Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H2, O2, N2, Ar and He by using a flame ionization detector (FID).
NORMA vydána dne 1.3.1991
Označení normy: DIN 50450-3:1991-03
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.3.1991
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID).