Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production.
NORMA vydána dne 1.5.2004
Označení normy: DIN 32564-2:2004-05
Datum vydání normy: 1.5.2004
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung.