Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology.
NORMA vydána dne 1.5.2004
Označení normy: DIN 32564-1:2004-05
Datum vydání normy: 1.5.2004
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Německá technická norma
Kategorie: Technické normy DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik.