Polovodičové součástky - Normalizovaná zkouška migrace vyvolaná namáháním - Část 1: Normalizovaná zkouška namáhání mědi. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.6.2018
Designation standards: ČSN IEC 62880-1
Classification mark: 358796
Catalog number: 505107
Publication date standards: 1.6.2018
The number of pages: 32
Approximate weight : 96 g (0.21 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma stanovuje metody stárnutí při stálé teplotě (izotermické) pro zkušební struktury pro měděné (Cu) pokovení na mikroelektronických křemíkových deskách pro stanovení náchylnosti na vytváření dutinek vytvořených namáháním (SIV). Tato metoda se používá při technologickém vývoji výroby na úrovni křemíkových desek a její výsledky slouží k předpovídání životnosti a analýze poruch. Za určitých podmínek je možno tuto metodu využít pro zkoušení pouzder. Metoda není určena pro kontrolu výrobních dávek před odesláním, protože doba zkoušení je dlouhá. Dvojitě damaskované Cu metalizační systémy se obvykle skládají z tantalové (Ta) nebo tantalnitridové (TaN) výstelky, která je utvořena na dně, nebo bocích kanálku v dielektriku, který je vytvořen leptáním dielektrické podložky. Z toho důvodu mohou systémy, které se skládají ze samostatných průchozích kontaktů s širokou vodivou cestou pod nimi, pokud mají chybějící vodivou cestu pod průchodem, vykazovat přerušení stejně, jako to může způsobit procentuální změna odporu, která splňuje kritérium poruchy