Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 28: Provozní zkouška pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.10.2017
Designation standards: ČSN IEC 62047-28
Classification mark: 358775
Catalog number: 503432
Publication date standards: 1.10.2017
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma specifikuje termíny a definice a provozní zkoušku pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii za účelem stanovení charakteristických parametrů pro spotřebitelské, průmyslové a jiné aplikace. Norma se týká vibracemi buzených elektretových součástek získávající energii, jejichž elektrody jsou vzdáleny méně než 1 000 µm a jsou pokryty dielektrickým materiálem se zachycenými náboji a jsou vyrobeny pomocí procesů MEMS jako je leptání, fotolitografie nebo depozice