Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 28: Provozní zkouška pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.10.2017
Označení normy: ČSN IEC 62047-28
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 503432
Datum vydání normy: 1.10.2017
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma specifikuje termíny a definice a provozní zkoušku pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii za účelem stanovení charakteristických parametrů pro spotřebitelské, průmyslové a jiné aplikace.
Norma se týká vibracemi buzených elektretových součástek získávající energii, jejichž elektrody jsou vzdáleny méně než 1 000 µm a jsou pokryty dielektrickým materiálem se zachycenými náboji a jsou vyrobeny pomocí procesů MEMS jako je leptání, fotolitografie nebo depozice