Geometrické specifikace produktu (GPS) - Textura povrchu: Plocha - Část 603: Jmenovité charakteristiky bezdotykových přístrojů (interferometrická mikroskopie s fázovým posuvem) (Norma k přímému použití jako ČSN).
NORMA vydána dne 1.8.2025
Označení normy: ČSN EN ISO 25178-603
Třídící znak: 014451
Katalogové číslo: 521667
Datum vydání normy: 1.8.2025
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
This document specifies the design and metrological characteristics of phase shifting interferometry (PSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements