Geometrické specifikace produktu (GPS) - Textura povrchu: Plocha - Část 603: Jmenovité charakteristiky bezdotykových přístrojů (interferometrická mikroskopie s fázovým posuvem) (Norma k přímému použití jako ČSN).
NORMA vydána dne 1.8.2025
Designation standards: ČSN EN ISO 25178-603
Classification mark: 014451
Catalog number: 521667
Publication date standards: 1.8.2025
The number of pages: 32
Approximate weight : 96 g (0.21 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN
This document specifies the design and metrological characteristics of phase shifting interferometry (PSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements