Elipsometrie - Principy (Norma k přímému použití jako ČSN).
NORMA vydána dne 1.4.2023
Označení normy: ČSN EN ISO 23131
Třídící znak: 039050
Katalogové číslo: 516600
Datum vydání normy: 1.4.2023
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.
It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3