NORMSERVIS s.r.o.

ČSN EN 62047-9 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

NORMA vydána dne 1.3.2012

Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana) -
Tištěné (350.00 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-9
Classification mark: 358775
Catalog number: 90139
Publication date standards: 1.3.2012
The number of pages: 36
Approximate weight : 108 g (0.24 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN

Annotation of standard text ČSN EN 62047-9 (358775):

Tato norma popisuje metodu měření pevnosti vzájemného spojení dvou destiček, typicky se jedná o tavné spojení křemík-křemík, anodické spojení křemík-sklo, atd. a je použitelná i při výrobě a montáži MEMS zařízení. Dá se použít pro tloušťky destiček od 10 µm do několika milimetrů