NORMSERVIS s.r.o.

ČSN EN 62047-22 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

NORMA vydána dne 1.4.2015

Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana) -
Tištěné (338.00 CZK)

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-22
Classification mark: 358775
Catalog number: 97101
Publication date standards: 1.4.2015
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN

Annotation of standard text ČSN EN 62047-22 (358775):

Tato norma stanovuje metodu pro zkoušku tahem pro měření elektromechanických vlastností materiálů vodivých tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS), které jsou upevněny na nevodivé pružné substráty. Vodivé tenkovrstvé struktury na pružných substrátech jsou ve velké míře používány pro MEMS, spotřební výrobky a v oblasti pružné elektroniky. Elektrické chování vrstev na pružných substrátech je odlišné od vlastností samonosných vrstev a substrátů v důsledku mezivrstvového působení. Rozdílné kombinace pružných substrátů a tenkých vrstev mají často různé vlivy na výsledky zkoušek a na mezivrstvovou adhezi. Požadovaná tloušťka tenkých MEMS materiálů je 50krát menší než je tloušťka pružného substrátu, zatímco všechny ostatní rozměry jsou navzájem podobné