Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 21: Metoda zkoušení pro Poissonův poměr tenkovrstvých materiálů MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.4.2015
Designation standards: ČSN EN 62047-21
Classification mark: 358775
Catalog number: 97102
Publication date standards: 1.4.2015
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma definuje stanovení Poissonova poměru z výsledků měření, které jsou získány pomocí zatěžování tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS) v jedné, nebo dvou osách. Jedná se o vzorky, které mají délku a šířku menší jak 10 mm a tloušťku menší jak 10 _m