NORMSERVIS s.r.o.

ČSN EN 62047-2 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).

NORMA vydána dne 1.5.2007

Anglicky (v českém jazyce pouze titulní strana) -
Tištěné (317.90 CZK)

:

: ČSN EN 62047-2
: 358775
: 78594
: 1.5.2007
: 32
: 96 g (0.21 )
:
Kategorie: Technické normy ČSN

ČSN EN 62047-2 (358775):

Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek. Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům. Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC