Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 6: Metody zkoušení axiální únavy tenkovrstvých materiálů (Norma k přímému použití jako ČSN).
NORMA vydána dne 1.11.2010
Označení normy: ČSN EN 62047-6
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 86158
Datum vydání normy: 1.11.2010
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN