Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 4: Kmenová specifikace pro MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.5.2011
Označení normy: ČSN EN 62047-4
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 88189
Datum vydání normy: 1.5.2011
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje kmenovou specifikaci pro mikroelektromechanické systémy (MEMS). Tato kmenová specifikace je základem pro specifikace uvedené v dalších částech tohoto souboru pro různé typy MEMS aplikací, jako jsou senzory, RF MEMS, vyjma optických MEMS, bio MEMS, mikro TAS a výkonových MEMS. Tato norma určuje obecné postupy pro stanovení kvality, které se používají pro IECQ-CECC systémy a určují obecné principy pro určení a testování elektrických, optických, mechanických vlastností a vlastností, které mají vliv na životní prostředí.
Tato kmenová specifikace pomáhá v přípravě norem, které popisují součástky a systémy, které jsou vyrobeny pro technologii mikroopracování, zahrnují, avšak nejsou limitovány charakteristikou materiálu, manipulací, montáží a testováním, řízením výroby a měřicími metodami. MEMS, které jsou uvedeny v této normě jsou v podstatě vyrobeny z polovodičů. Avšak ustanovení, která jsou uvedena v této normě, mohou být také použita pro MEMS, které používají jiné materiály než polovodiče, například polymery, sklo, kovy a keramické materiály