Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.9.2015
Označení normy: ČSN EN 62047-16
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 98269
Datum vydání normy: 1.9.2015
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu