Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.7.2012
Označení normy: ČSN EN 62047-10:2012/Oprava1
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 90863
Poznámka: Oprava
Datum vydání normy: 1.7.2012
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN