Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydána dne 1.3.2012
Označení normy: ČSN EN 62047-10
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 90140
Datum vydání normy: 1.3.2012
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení.
Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikrostrojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály