Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice.
NORMA vydána dne 1.9.2016
Označení normy: ČSN EN 62047-1-ed.2
Třídící znak: 358775
Katalogové číslo: 500696
Datum vydání normy: 1.9.2016
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Česká technická norma
Kategorie: Technické normy ČSN
Tato část IEC 62047 definuje termíny pro mikroelektromechanické součástky včetně procesu výroby těchto součástek