
Atomic layer deposition. Vocabulary.
NORMA vydána dne 17.11.2023
Označení normy: BS ISO 8181:2023
Datum vydání normy: 17.11.2023
Počet stran: 18
Přibližná hmotnost: 54 g (0.12 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 19026 7 Status: Definitive