Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting.
NORMA vydána dne 31.3.2013
Označení normy: BS ISO 16413:2013
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 31.3.2013
Počet stran: 42
Přibližná hmotnost: 126 g (0.28 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS