
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.
NORMA vydána dne 31.7.2014
Označení normy: BS ISO 14706:2014
Datum vydání normy: 31.7.2014
Počet stran: 36
Přibližná hmotnost: 108 g (0.24 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 82725 9 Status: Under Review