Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.
NORMA vydána dne 15.5.2001
Označení normy: BS ISO 14706:2000
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.5.2001
Počet stran: 32
Přibližná hmotnost: 96 g (0.21 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS