
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Procedure for identifying and evaluating defects using a combined method of optical inspection and photoluminescence.
NORMA vydána dne 7.9.2022
Označení normy: BS IEC 63068-4:2022
Datum vydání normy: 7.9.2022
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 18417 4 Status: Definitive