
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Test method for defects using optical inspection.
NORMA vydána dne 8.2.2019
Označení normy: BS IEC 63068-2:2019
Datum vydání normy: 8.2.2019
Počet stran: 28
Přibližná hmotnost: 84 g (0.19 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 51374 9 Status: Definitive