
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of impact resistance of nanostructures.
NORMA vydána dne 1.4.2025
Označení normy: BS IEC 62047-45:2025
Datum vydání normy: 1.4.2025
Počet stran: 18
Přibližná hmotnost: 54 g (0.12 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 21849 7 Status: Definitive