
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever.
NORMA vydána dne 24.10.2022
Označení normy: BS IEC 62047-42:2022
Datum vydání normy: 24.10.2022
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 16581 4 Status: Definitive