
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS.
NORMA vydána dne 31.1.2013
Označení normy: BS EN 62047-9:2011
Datum vydání normy: 31.1.2013
Počet stran: 30
Přibližná hmotnost: 90 g (0.20 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 78793 5 Status: Definitive