
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Strip bending test method for tensile property measurement of thin films.
NORMA vydána dne 30.6.2011
Označení normy: BS EN 62047-8:2011
Datum vydání normy: 30.6.2011
Počet stran: 22
Přibližná hmotnost: 66 g (0.15 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 60629 8 Status: Definitive