
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Axial fatigue testing methods of thin film materials.
NORMA vydána dne 30.4.2010
Označení normy: BS EN 62047-6:2010
Datum vydání normy: 30.4.2010
Počet stran: 20
Přibližná hmotnost: 60 g (0.13 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 58544 9 Status: Definitive