
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Tensile testing method of thin film materials.
NORMA vydána dne 30.11.2006
Označení normy: BS EN 62047-2:2006
Datum vydání normy: 30.11.2006
Počet stran: 16
Přibližná hmotnost: 48 g (0.11 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 0 580 49740 2 Status: Definitive