
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems.
NORMA vydána dne 31.10.2013
Označení normy: BS EN 62047-11:2013
Datum vydání normy: 31.10.2013
Počet stran: 24
Přibližná hmotnost: 72 g (0.16 liber)
Země: Britská technická norma
Kategorie: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 69448 6 Status: Definitive