Standard Test Methods for Measuring Resistivity of Semiconductor Slices or Sheet Resistance of Semiconductor Films with a Noncontact Eddy-Current Gage (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F673-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
contactless measurements, eddy current, nondestructive evaluation, resistivity, semiconductor, sheet, resistance, silicon, thin films, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)