ASTM F388-84

Method for Measurement of Oxide Thickness on Silicon Wafers and Metallization Thickness by Multiple-Beam Interference (Tolansky Method) (Withdrawn 1993)

Anglicky -
Elektronické PDF (1709.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1709.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F388-84
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F388-84 :

Keywords:
ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)