Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves (Withdrawn 2023)
NORMA vydána dne 15.4.2020
Označení normy: ASTM F1394-92(2020)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.4.2020
Počet stran: 27
Přibližná hmotnost: 81 g (0.18 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
condensation nucleus center, contamination, gas distribution, gas distribution valves, isokinetic sampling, nitrogen, particle contamination, particle counter, particles, semiconductor processing,, ICS Number Code 23.060.20 (Ball and plug valves),23.060.10 (Globe valves)