Standard Test Method for Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDX) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components (Withdrawn 2023)
NORMA vydána dne 15.4.2020
Označení normy: ASTM F1375-92(2020)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.4.2020
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
components, connectors, contamination, EDX, gas distribution components, SEM/EDX, semiconductor processing, surface condition, tubing,, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)