Standard Test Method for Scanning Electron Microscope (SEM) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components (Withdrawn 2023)
NORMA vydána dne 15.4.2020
Označení normy: ASTM F1372-93(2020)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.4.2020
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
components, contamination, gas distribution, metallic surface condition, SEM analysis, semiconductor processing, surface condition,, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)