Standard Test Method for Scanning Electron Microscope (SEM) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components
NORMA vydána dne 10.6.1999
Označení normy: ASTM F1372-93(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.1999
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
Electron microscopy, Gas distribution systems, Metals and metallic materials, Scanning electron microscope (SEM), Semiconductor clean rooms, Surface analysis-metals/alloys, scanning electron microscope (SEM) analysis of metallic surface, condition for gas distribution system components (for surface, morphology), test, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)